洁净室监测计划的12条必备要素
1、监测计划中应该列出所有的需要监测的参数的清单，并提供监测的理由，尤其是可能影响环境中尘埃粒子水平的因素；（洁净室/区监测计划中提到的其他的）
2、监测计划中应该描述测量的方法以及理由；
3、监测计划中应检查测量设备的校准状态，以确保测量数据的准确，同时也应检查设备是否经过必要的维护；（校准很重要，维护不可少）
4、监测计划应包括所有需要监测的点位的信息，监测点位的定义应该基于三维而非平面图；（平面图之外还需要规定取样的操作高度）
5、监测计划中应明确监测的标准和限度，包括必要警戒限、或者警戒限+行动限；
6、监测计划中应明确当测量的结果超出预先制订的标准时应该采取的措施；
7、监测计划中应表明定期对洁净室和洁净区域进行洁净水平测试的频率；
8、监测计划中应体现数据报告所采用的格式；
9、监测计划中应体现如何对数据进行趋势的分析与统计学计算；（采集的数据要发掘出最大价值）
10、监测计划中应体现日常监测报告的要求；（与第8条有些重复）
11、监测计划中应体现记录保留的政策以及记录保留的介质；（通常可以引用相关文档管理的SOP）
12、监测计划中应该定义出监测计划本身审核的周期；（通常可以引用其他的SOP）
