1.洁净厂房的基本构成
什么是洁净室？
内部尘埃粒子浓度受控且分级的房间，该房间是按照一定的方式来设计、建造和运行，以控制房间内粒子的引入、产生和滞留。
洁净厂房的构成
天花板系统：包括吊杆、钢梁、天花板。
隔墙板：密胺树脂面层的墙体板材、彩钢板面层的墙体板材。
洁净门：钢制门、彩钢板门、不锈钢门。
观察窗：圆角窗、方角窗
地面：包括环氧彩砂地面、PVC卷材、环氧自流坪。
照明灯具：包括日光灯、黄色灯管等。
洁净电话
传递窗：净化传递窗、普通传递窗、VHP传递窗
层流罩
负压称量室
隔离器和限制进出屏障系统
洁净室
2.洁净厂房的分类
按照洁净室气流流行划分为三种：单向流洁净室、非单向流洁净室、混合流洁净室。
单向流洁净室
单向流洁净室是气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。适用于A级洁净室（区），有水平单向流和垂直单向流两种。
两种单向流均依赖于末端过滤器的送风与回风口接近一对一的相对设置，以尽可能保持气流呈直线。这两种单向流能够保证工艺核心区气流受到的干扰最小。
单向流通过活塞和挤压原理，把灰尘从一端向另一端挤压出去，用洁净气流置换污染气流。与洁净气流相垂直的工作面上的各个位置都具有相同的洁净度。
单向流洁净室
非单向流洁净室
非单向流洁净室是气流以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流的洁净室。空气经分布于送风面上的多个过滤器风口送入，并在较远的位置回风。过滤器风口可在整个洁净室或洁净区等距离分布，也可成组设于工艺核心区上方。过滤器出风口的位置对于洁净室的性能非常重要。尽管非单向流系统中的回风位置不像单向流那么重要，但为了尽量减少洁净室中的死区，也应注意回风口的布局。
非单向流采用稀释原理即“脏”的房间空气与“干净”的房间空气不断的混合，以降低房间内通过紊流混合的空气中单位微粒负荷。一般型式为高效过滤器送风口顶部送风；回风的型式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数，实现不同的净化级别，其初期投资和运行费用也不同。
非单向流洁净室
混合流洁净室
混合流洁净室是在同一房间内组合有单向流和非单向流的洁净室。这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小，用大面积非单向流替代大面积单向流用以节省初期投资和运行费用。
a. 所有的浓度是累积的。例如：ISO5级0.3μm的10200粒子包含了所有等于或者是超过该粒径的所有粒子。
b. 这些浓度会导致为分级需取大量空气样本。
c. 由于粒子浓度非常大，极限浓度不适用于表格中的这一区域。
d. 低浓度粒子在取样和统计的局限性，会造成分级不当。
e. 由于取样系统潜在的粒子损失，粒子在低浓度和粒径大于1μm时样品收集的局限性，使的该粒径下的洁净度级别不适用。
f. 为了规定ISO5级的粒径，大粒子M描述符可能适用并与至少一种其他粒径联合使用。
g. 该级别仅适用于动态测试。
通过以上表格对比，欧盟洁净度的要求与中国基本一致。FDA采用的是100级，1000级，10000级和100000级的要求，并对≥5.0μm的粒子未做明确的要求。考虑到测试的不确定性，ISO14644-1:2015对各洁净级别不同粒径粒子浓度限值规定更加慎重，需要考虑更多内容。数据统计方面，同时取消95%UCL的计算。
